Kvartsiprosessiputki
Nimi:
8-tuumainen kvartsiprosessiputki
Toiminta ja käyttötarkoitus:
Puolijohdevalmistuksessa kvartsiprosessiputki toimii ytimen kantajana korkean lämpötilan prosesseissa, hoitaen keskeisiä tehtäviä kuten korkean lämpötilan ympäristön sulkemisen, yksikiteisen piikasvun säiliön, korrosiivisen kaasun eroosion vastustamisen ja erittäin puhtaan ympäristön ylläpitämisen. Sitä käytetään wafer-valmistusprosesseissa, kuten diffuusiossa, hapetuksessa, CVD-pinnoituksessa, materiaalien valmistelussa ja puhdistuksessa, plasma-prosessien suojauksessa, prosessien seurannassa ja kaasujen hallinnassa, jotka ovat korkean lämpötilan prosesseja.
Suorituskykyvaatimukset:
Korkea lämpötilankestävyys, korroosionkestävyys ja alhainen epäpuhtauspitoisuus.
-
Nro 5177 Qianghua West Road, Dongqian-katu, Nanxunin piiri, Huzhoun kaupunki, Zhejiangin maakunta
-
+86-572-3032373
+86-572-3033016
TheKvartsiprosessiputki on olennainen osa korkean lämpötilan puolijohde- ja aurinkosähkövalmistuslaitteita, jotka on suunniteltu tarjoamaan saastumaton ympäristö kiekkojen käsittelylle. Valmistettu korkean puhtauden sulatetusta kvartsista, se tarjoaa poikkeuksellisen kestävyyden lämpöshokille, kemialliselle korroosiolle ja mekaaniselle rasitukselle.
Tarkan ulottuvuuksien hallinnan ja sileän sisäpinnan ansiosta prosessiputki varmistaa tasaisen kaasun virtauksen ja lämpötilajakautumisen, mikä on kriittistä oksidaatiossa, diffuusiossa, LPCVD:ssä ja annealingissa. Sen rakenteellinen vakaus toistuvassa lämpökierroksissa takaa pitkän käyttöiän ja tasaisen tuotannon laadun. Soveltuva sekä pystysuoriin että vaakasuoriin uunijärjestelmiin, 8 tuuman kvartsiprosessiputki tukee edistyneitä 200 mm wafer-valmistuslinjoja säilyttämällä prosessin eheyden, myöntöjohdonmukaisuuden ja käyttöluotettavuuden.
Miksi uunisuunnittelijat suosivat kvartsiprosessiputkia muiden materiaalien sijaan
1. Poikkeuksellinen lämpövakaus
Kvartsi säilyttää rakenteellisen eheyden erittäin korkeissa lämpötiloissa, mahdollistaen tasaisen wafer-käsittelyn ilman muodonmuutoksia tai halkeilua.
2. Ylivoimainen kemiallinen vastustuskyky
Toisin kuin metallit, jotka voivat korrodoitua tai reagoida prosessikaasujen kanssa, kvartsi on kemiallisesti inerttiä, mikä takaa mahdollisimman vähäisen saastumisen hapettumis-, diffuusio- ja CVD-prosesseissa.
3. Korkea puhtaus ja matala epäpuhtauspitoisuus
Sulatetuissa kvartsiputkissa on hyvin vähän epäpuhtauksia ja kuplia, mikä on ratkaisevan tärkeää herkkien puolijohdekiekkojen vikojen ehkäisemiseksi.
4. Tarkka ulottuvuuksien tarkkuus
Kvartsiputket valmistetaan tiukoilla toleransseilla, mikä mahdollistaa tasaisen kaasun virtauksen ja tasaisen lämmönjakautumisen uunissa.
5. Pitkäaikainen kestävyys
Kvartsi kestää lämpöiskuja paremmin kuin metallit tai keramiikka, mikä vähentää käyttökatkoja ja korvauskustannuksia puolijohdetehtaissa.
Lämmönvakauttavuuden, kemiallisen inertin, korkean puhtauden ja tarkkojen mittojen yhdistelmä tekee kvartsiprosessiputkista suosituimman valinnan uunisuunnittelijoille. Korkealaatuisten kvartsiputkien valinta varmistaa paremman wafer-sadon, tasaisuuden ja luotettavan pitkäaikaisen käytön.
