TheKaareva levyfuusioitu piidioksidiveneon tarkka wafer-kantaja, joka on suunniteltu puolijohdesovelluksiin, joissa käytetään korkean lämpötilan eräkäsittelyä, kuten diffuusiota, hapettamista ja CVD-pinnoitusta. Valmistettu korkean puhtauden sulatetusta piidioksidista, tämä vene tarjoaa poikkeuksellisen lämpövakauden, minimaalisen lämpölaajenemisen ja erinomaisen kestävyyden sekä korroosiolle että lämpöshokille.

Sen taivutettu levyrakenne tarjoaa vakaan wafer-tuen ja parantaa tasaista kaasun virtausta sekä lämmönsiirtoa uuniputkessa. Sileä ja puhdas pinta minimoi hiukkasten muodostumisen, kun taas materiaalin korkea optinen läpinäkyvyys tukee visuaalista tarkastelua tarvittaessa. Suunniteltu tasaiseen wafer-kohdistukseen ja pieneen saastumisriskiin, fused piidioksiditaivutettu levyvene täyttää edistyneen puolijohdevalmistuksen, tutkimuslaboratorioiden ja pilottilinjojen tiukat vaatimukset.

Miksi sitä kutsutaan Curved Plate Quartz Boatiksi?

Termi "Curved Plate Quartz Boat" tulee sekä sen materiaalista että rakenteesta:

Kvartsi:Vene on valmistettu korkean puhtauden kvartsista (sulatetusta piidioksidista), joka on puolijohdevalmistuksessa arvostettu sen erinomaisen lämpövakauden vuoksi, kemiallisen kestävyyden ja alhaisen epäpuhtauspitoisuuden vuoksi.

Kaareva levy:Toisin kuin litteissä tai putkimaisissa veneissä, tässä mallissa levy on taivutettu tai kaareva kaarimuotoon. Tämä taivutettu (kaareva) levyrakenne auttaa parantamaan kaasun virtauksen jakautumista ja lämpötasaisuutta kiekkojen ympärillä korkean lämpötilan käsittelyssä. Kaarevuus mahdollistaa waferien paremman altistumisen prosessointikaasuille ja tasaisemman lämmönjakautumisen.

Vene:Puolijohdeprosessoinnissa "vene" on teollisuuden termi kantajalle tai kiinnikkeelle, joka pitää waferit tukevasti kiinni uuni- tai diffuusioputkikäsittelyn aikana.

Joten "kaareva levykvartsivene" tarkoittaa kirjaimellisesti kvartsipohjaista wafer-kantajaa, jonka taivutettu (kaareva) levyrakenne on optimoitu tasaiseen wafer-käsittelyyn korkean lämpötilan puolijohdevalmistuksessa.