Nimi:

6 tuuman kvartsivenesarja

Toiminta ja käyttötarkoitus:

Tähän sarjaan kuuluu monenlaisia kvartsiveneitä, kuten häkkiveneitä, välilevyveneitä, perusveneitä ja tavallisia wafer-veneitä, jotka on suunniteltu tukemaan piikiekkoja korkean lämpötilan puolijohdeprosesseissa, kuten diffuusiossa, hapettumisessa, CVD-pinnoituksessa ja waferin puhdistuksessa. Nämä erilaiset muodot ja rakenteet optimoivat kaasun virtauksen, lämmön tasaisuuden ja kiekonvakauden laajassa valikoimassa valmistus- ja tutkimussovelluksia.

Suorituskykyvaatimukset:

Korkean puhtauden sulatettu kvartsirakenne, jossa on erinomainen lämmönkestävyys, korroosionkestävyys ja alhainen epäpuhtauspitoisuus. Kestävä rakenne, joka kestää toistuvan lämpökierron. Sileät, kiillotetut tai hiekkapuhalletut pinnat minimoivat hiukkasten muodostumisen ja saastumisen, varmistaen yhteensopivuuden automatisoitujen waferinkäsittelyjärjestelmien ja erilaisten uunityyppien kanssa.